Smartnoble Yüksek Hassasiyetli Tam Otomatik Wafer Kenar Pahferleme Makinesi

                                          
Smartnoble Otomatik Wafer Kenar Pahferleme Makinesi, yarı iletken endüstrisinde wafer üretim aşaması için özel olarak tasarlanmış yüksek hassasiyetli bir işleme çözümüdür. Dairesel olmayan veya pürüzlü kenarlı waferleri hassas şekilde standart dairesel waferlere dönüştürürken, hassas kenar pahferlaması gerçekleştirir. Bu ekipman, wafer verimini artırmada ve üretim güvenliğini sağlamada kritik bir rol oynar.
Sistem, yüksek hızlı bir taşlama tekerleğini hassas hareket kontrol platformu ile birleştirerek verimli ve eşit kenar pahferı sağlar. Waferler, gerçek zamanlı izlenen basınç ve mesafe altında öğütme uygulandığı döner bir aşamaya yerleştirilir; bu da çeşitli malzeme ve koşullardaki waferler için uyarlanabilir işlem sağlar.
Bu makine, özellikle SiC ve GaN gibi hassas substratlar için wafer işleme, IC ön paketleme ve wafer yeniden yapılandırması için idealdir.

Temel Özellikler

• 120mm'ye kadar çapları destekliyor, ana akım wafer boyutları için idealdir.
• Wafer kalınlığını 0.7 ila 1.1mm arasında tutar, SiC ve GaN dahil çeşitli malzemelerle uyumludur.
• Dengeli verimlilik ve hassasiyet için 6000 rpm'ye kadar çalışan yüksek hızlı bir taşlama tekerleğiyle donatılmıştır.
• Leha genişliği toleransını ±50 μm ve ±30 μm çapta hassasiyeti sağlar.
• Tam 360° eşit pahtalama sağlamak için hassas sürüş platformu ve döner çalışma masası kullanır.
• Tam otomatik wafer giriş/çıkış, sıralı üretim sistemleriyle uyumlu.

Smartnoble, yarı iletken üreticilerine hassasiyet, güvenilirlik ve verimlilik sunmaya devam ediyor—üretim verimini maksimize ediyor ve süreç değişkenliğini en aza indiriyor.
Bizimle İletişime Geçin:www.smartnoble.com