Smartnoble Islak Temizleme Çözümü: Zorlu Mikrofabrikasyon İhtiyaçları için Hassas Temizlik

Gelişmiş mikrofabrikasyon ve kızılötesi (IR) cihaz üretiminde, yüzey temizliği verim ve güvenilirlik için kritik öneme sahiptir. Smartnoble'ın son teknoloji Islak Temizleme Sistemi, özellikle karmaşık yarı iletken ve optoelektronik paketleme işlemlerinde organik kalıntıları, metal iyonlarını ve partikül kontaminasyonunu mikron ve mikron altı seviyelerde gidermek için özel olarak üretilmiştir.
Bu ekipman, InSb yonga plakası işleme, MCT (HgCdTe/InGaSb) cihaz üretimi, Dewar montajı ve diğer temiz-kritik aşamalardaki uygulamalar için idealdir. Hem otomatik daldırma temizleme hem de manuel temizleme işlemlerini destekleyecek şekilde tasarlanan bu ürün, yüksek değerli alt tabakalar ve hassas bileşenler arasında olağanüstü esneklik ve proses kontrolü sağlar.

Önemli Özellikler ve Teknik Öne Çıkanlar

• Çift Yapılandırma: Otomatik ve Manuel Temizleme Modülleri

1. Otomatik modül, fotorezist kaldırma, aşındırma ve pozlama sonrası geliştirmeyi destekler
2. Manuel modül, karmaşık geometrilerin daha iyi temizlenmesi için sprey, köpürme, ultrasonik çalkalama ve alt tabaka salınımını entegre eder
3. Modüler tasarım, özelleştirilebilir düzen seçenekleriyle 6 inç ve 8 inç gofretleri veya taşıyıcıları destekler

• Akıllı Proses Kontrolü

1. Kimyasal konsantrasyonlarının, dozajın, durulama suyu seviyelerinin ve tank koşullarının gerçek zamanlı izlenmesi
2. Sıcaklık, zamanlama ve sıvı değişiminin otomatik kontrolü
3. Akıllı fabrika sistemleriyle sorunsuz entegrasyon için endüstriyel Ethernet ve IIoT platformlarıyla uyumludur

• Sertifikalı Temiz Oda Uyumluluğu ve Güvenilirliği

1. Class 100–1.000 temiz oda ortamları için tasarlanmıştır
2. ESD güvenli, korozyona dayanıklı yapı, yüksek sistem çalışma süresi ve düşük bakım ihtiyacı
3. Uluslararası üretim standartlarıyla tam uyumlu (ör. ISO, IATF)